Depozit
Tushunish va rivojlanish jarayonini tezlashtiring.
Advanced Energy muhim nozik plyonkalarni joylashtirish ilovalari va qurilma geometriyalari uchun quvvat manbai va boshqaruv echimlarini taqdim etadi.Gofretni qayta ishlash muammolarini hal qilish uchun bizning aniq quvvat konvertatsiya yechimlarimiz quvvat aniqligi, aniqligi, tezligi va jarayonning takrorlanishini optimallashtirish imkonini beradi.
Biz keng diapazonli RF chastotalari, doimiy quvvat tizimlari, moslashtirilgan quvvat chiqish darajalari, mos keladigan texnologiyalar va tolali optik harorat monitoringi yechimlarini taklif etamiz, bu sizga plazma jarayonini yaxshiroq boshqarish imkonini beradi.Shuningdek, biz Fast DAQ™ va maʼlumotlarni yigʻish va foydalanish imkoniyati toʻplamini jarayonni tushunish va ishlab chiqish jarayonini tezlashtirish uchun birlashtiramiz.
Ehtiyojlaringizga mos keladigan yechimni topish uchun yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayonlarimiz haqida ko'proq bilib oling.
Sizning Challenge
Integral mikrosxemalar o'lchamlarini naqshlash uchun ishlatiladigan plyonkalardan tortib o'tkazuvchi va izolyatsion plyonkalar (elektr tuzilmalari), metall plyonkalar (o'zaro bog'liqlik) uchun sizning cho'ktirish jarayonlaringiz nafaqat har bir xususiyat uchun, balki butun gofret bo'ylab atom darajasidagi nazoratni talab qiladi.
Tuzilishning o'zidan tashqari, sizning qo'yilgan filmlaringiz yuqori sifatli bo'lishi kerak.Ular kerakli don tuzilishi, bir xilligi va konformal qalinligiga ega bo'lishi va bo'shliqsiz bo'lishi kerak - bu zarur mexanik stresslar (siqish va tortish) va elektr xususiyatlarini ta'minlashdan tashqari.
Murakkablik faqat ortib bormoqda.Litografiya cheklovlarini (sub-1X nm tugunlari) hal qilish uchun o'z-o'zidan tekislangan ikki va to'rtburchak naqsh texnikasi har bir gofretda naqsh hosil qilish va takrorlash uchun joylashtirish jarayonini talab qiladi.
Bizning yechimimiz
Eng muhim depozit ilovalari va qurilma geometriyalarini qo'llaganingizda, sizga ishonchli bozor yetakchisi kerak bo'ladi.
Advanced Energy kompaniyasining RF quvvatini yetkazib berish va yuqori tezlikdagi moslashtirish texnologiyasi barcha ilg'or PECVD va PEALD cho'kma jarayonlari uchun zarur bo'lgan quvvat aniqligi, aniqligi, tezligi va jarayonning takrorlanishini sozlash va optimallashtirish imkonini beradi.
Sozlanishi mumkin bo'lgan yoy reaktsiyasi, quvvat aniqligi, tezligi va jarayonning takrorlanishi talab qilinadigan PVD (sputtering) va ECD yotqizish jarayonlarini nozik sozlash uchun bizning DC generator texnologiyamizdan foydalaning.
Foyda
● Kengaytirilgan plazma barqarorligi va jarayonning takrorlanishi hosildorlikni oshiradi
● To‘liq raqamli nazorat bilan aniq RF va DC yetkazib berish jarayon samaradorligini optimallashtirishga yordam beradi
● Plazma o'zgarishlariga va yoyni boshqarishga tezkor javob
● Moslashuvchan chastotani sozlash bilan ko'p darajali pulsatsiya o'tish tezligini tanlashni yaxshilaydi
● Maksimal ish vaqti va mahsulot unumdorligini ta'minlash uchun global qo'llab-quvvatlash mavjud