U RLS seriyali RF quvvat manbaiga moslashtirilishi mumkin va plazma bilan ishlov berish, qoplama, plazma tozalash, plazma degumming va boshqa jarayonlarda keng qo'llaniladi.Faqatgina foydalanilganda, u boshqa ishlab chiqaruvchilarning RF quvvat manbalari bilan birgalikda ishlatilishi mumkin.