TPM5 seriyali quvvat boshqaruvchisi
-
TPM5 seriyali quvvat boshqaruvchisi
TPM5 seriyali quvvat boshqaruvchisi modul dizayni g'oyasini qabul qiladi va ichida 6 tagacha sxemani birlashtiradi. Mahsulotlar asosan diffuziya pechlari, PECVD, epitaksi o'choqlari va boshqalarda qo'llaniladi.